Учебник Физические процессы в вакууме и полупроводниковых структурах и их использование в электронных приборах

Рассмотрены физические процессы, происходящие в вакууме и полупроводниковых структурах при работе электровакуумных и полупроводниковых приборов. Описаны основные физические явления при вакуумировании корпусов приборов, формировании потоков заряженных частиц, управлении этими потоками с использованием электрических и магнитных полей, взаимодействии потоков с мишенями, а также процессы формирования и управления движением носителей заряда в полупроводниковых структурах. Представлено описание устройства, принципа работы и методов расчета основных параметров электронных приборов, в которых данные физические процессы используются. Приведены вопросы и задания для самоконтроля. Для самостоятельной проработки дисциплины «Физические основы электронных приборов» студентами, обучающимися по направлению подготовки «Электроника и наноэлектроника», профиль «Электронное машиностроение».