Учебник Основы технологии электронной компонентной базы
Авторы: Е. Э. Бодров
Год издания:
Жанры: учебники и пособия для вузов
Категории: Учебники для ВУЗов
Цена: 860.00 руб.
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Другие учебники для ВУЗов
Поделиться
Отправить
Класснуть
Отправить